Внутренние размеры вакуумной камеры;500х500х450 мм; Ускоряющее напряжение;30-80 кВ; Максимальная мощность луча;8 кВт; Угол отклонения луча;±7°; Тип катода, накал;прямонакальный (W, LaB6); Время откачки рабочего вакуума;5 мин; Размеры стола манипулятора;200х200 мм; Перемещение по осям X, Y;200х200 мм; Скорость перемещения по осям X, Y;0,1 - 50 мм/сек; Скоость вращения изделия;0,1 - 60 об/мин;