Внутренние размеры вакуумной камеры;3500х3500х3550 мм; Ускоряющее напряжение;60 кВ; Максимальная мощность луча;60 кВт; Тип катода;прямой / косвенный; Рабочее давление;5х10-2 Па; Предельное давление;5х10-з Па; Время откачки до рабочего давления;20 мин; Размеры стола;1500х4000 мм; Перемещение по осям Х, Y, Z;3500х1500х1500 мм; Скорость перемещения по осям X, Y, Z;0,1 - 100 мм/сек max; Диаметр планшайбы;800 мм; Скорость вращения изделия;0,01 - 10 об/мин;