Внутренние размеры вакуумной камеры: 700х700х700 мм
Максимальная мощность луча: 15 кВт
Угол отклонения луча: ±10°
Тип катода: прямой / косвенный
Рабочее давление: 5х10⁻² Па
Предельное давление: 1х10⁻³ Па
Время откачки до рабочего давления: 5 мин
Размеры стола манипулятора: 200х200 мм
Перемещение по осям Х, Y, Z: 300х300х300 мм
Скорость перемещения по осям X, Y, Z: 0,1 - 50 мм/сек max
Скорость вращения изделия: 0,01 - 60 об/мин
Возможности:: Наведение по отраженным электронам; Система управления.