Внутренние размеры вакуумной камеры: 2500х4500х2500 мм
Максимальная мощность луча: 60 кВт
Ускоряющее напряжение: 60 кВ
Тип катода: прямой / косвенный
Рабочее давление: 5х10⁻² Па
Предельное давление: 5х10⁻³ Па
Время откачки до рабочего давления: 20 мин
Размеры стола: 1500х4000 мм
Перемещение по осям Х, Y, Z: 3500х1500х1500 мм
Скорость перемещения по осям X, Y, Z: 0,1 - 100 мм/сек max
Диаметр планшайбы: 800 мм
Скорость вращения изделия: 0,01 - 10 об/мин