Внутренние размеры вакуумной камеры: 500х500х450 мм
Ускоряющее напряжение: 30-80 кВ
Максимальная мощность луча: 8 кВт
Угол отклонения луча: ±7°
Тип катода, накал: прямонакальный (W, LaB6)
Рабочий вакуум: 5 мин
Размеры стола манипулятора: 200х200 мм
Перемещение по осям X, Y: 200х200 мм
Скорость перемещения по осям X, Y: 0,1 - 50 мм/сек
Скоость вращения изделия: 0,1 - 60 об/мин